Em muitas indústrias essenciais, como fabricação de precisão e processamento de semicondutores,tecnologia de gravaçãoé uma das principais tecnologias para obter a formação de materiais refinados. Entre eles, o ataque úmido, como método de ataque tradicional amplamente utilizado, sempre ocupou uma posição importante na indústria devido ao seu princípio de reação único e controlabilidade.YanMing® lhe dará uma interpretação detalhada da definição central e das principais características da gravação úmida.
Gravura úmida, também conhecido como processo de ataque úmido, é um método tecnológico que remove materiais por meio de reações químicas. Seu processo principal de operação é o seguinte: mergulhar o substrato a ser processado (como wafers semicondutores, chapas metálicas, etc.) em um decapante contendo substâncias químicas como ácidos, álcalis ou solventes. Use a reação química entre o condicionador e o material do substrato para converter a peça a ser removida da superfície do substrato em produtos solúveis, que são então completamente removidos por meio de um processo de limpeza e, finalmente, a formação precisa do substrato é alcançada.
A principal força motriz de todo o processo de ataque úmido vem da reação química que ocorre na interface entre o substrato e o agente de ataque. A adequação e estabilidade da reação determinam diretamente o efeito de ataque. A taxa de ataque (isto é, a espessura do material removido por unidade de tempo) não é um valor fixo, que é determinado principalmente por dois fatores principais: um são as características cinéticas da reação e o outro é a concentração de substâncias reativas na solução de ataque.
Vale a pena notar quegravação úmidatem forte controlabilidade. Ao ajustar cientificamente parâmetros-chave, como a proporção de composição do agente de ataque, o nível de concentração e a temperatura do ambiente de reação, a taxa de ataque e o efeito de ataque podem ser controlados com precisão, atendendo assim às necessidades personalizadas de processamento de substrato para diferentes indústrias e produtos. Esta é também uma das principais vantagens da sua ampla aplicação em vários cenários de fabricação de precisão.